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Obwohl die EDX-Analyse als oberflächenrelevantes Verfahren gilt, muss stets bedacht werden, dass eigentlich auf Grund der physikalischen Gegebenheiten immer eine Volumenanalyse durchgeführt wird, bei der das Maximum der stattfindenden Wechselwirkungsprozesse unterhalb der Oberfläche stattfindet (in Abhängigkeit von der verwendeten Beschleunigungsspannung bis zu mehreren µm). Read more