In Kombination mit einem REM spricht man bei der Transmissionselektronendetektion von STEM (Scanning Transmission Elektron Microscopy – Transmissions-Rasterelektronen-Mikroskopie). Der STEM-Detektor muss unterhalb der Probe platziert werden, da er die durch die Probe transmittierten Elektronen detektiert. Für eine Durchstrahlung muss die Probe dementsprechend dünn sein (<100 nm), siehe Abbildung 1.
Ein entsprechender STEM-Detektor mit Adapter wird auf dem Probentisch befestigt, über dem sich die Probe befindet. Moderne STEM-Detektoren kommen in einer rückziehbaren Variante vor (ähnlich wie der rückziehbare RE-Detektor). Dabei wird die Probe so positioniert, dass die STEM-Detektorzunge unter die Probe fährt und das transmittierte Signal mit Halbleiterdioden detektiert.
Durch die geometrische Anordnung der Halbleiterdetektoren wird eine Hell- und Dunkelfeld-Abbildung ermöglicht (siehe Abschnitt „Transmittierte Elektronen TE“). Die in den Detektoren gewonnenen Signale werden durch einen Vorverstärker elektronisch verstärkt und können einzeln oder gemixt zur Abbildung der durchstrahlten Probenbereiche benutzt werden.
Abbildung 1: Schematischer Aufbau eines TE-Detektors
Abbildung 2: Draufsicht auf einen TESCAN-STEM-Detektor