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Die durch den Primärelektronenstrahl angeregte Lumineszenzstrahlung (Photonen) des Probenmaterials, wird mit Hilfe eines Spiegels und eines Lichtleiters, zu einem Photomultiplier geführt und dort zu einem elektrischen Signal verstärkt. Durch die Nutzung von Photomultipliern mit verschiedenen Spektralbereichen kann die Wellenlänge der zur Abbildung benutzten KL-Strahlung bestimmt werden. Da der Spiegel unmittelbar über der Probe positioniert werden muss, besitzt er eine mittige Bohrung für den Durchgang des Primärelektronenstrahls (Abbildung 1).
Die Form und die Anordnung des Spiegels können, je nach Bauart des Detektors, sehr unterschiedlich sein. Durch die Nutzung eines Monochromators vor dem Photomultiplier ist es möglich, zur Abbildung nur das Licht einer speziellen Wellenlänge zu benutzen.
Abbildung 1: Schematischer Aufbau eines KL-Detektors
Abbildung 2: Abbildung eines TESCAN-KL-Detektors