Beim Linescan kann die Verteilung der in der Probe enthaltenen Elemente entlang einer Line innerhalb des Bildfeldes dargestellt werden. Dazu wird der Elektronenstrahl mit einer einzustellenden Verweilzeit (Dwelltime) entlang der festgelegten Messlinie Pixel für Pixel über die Probe geführt und das Vorhandensein eines bestimmten Elementes durch die Färbung des jeweiligen Pixels im entsprechenden Linienprofil dargestellt. Das erzeugte Linienprofil enthält eine qualitative Information, ob an einem Bildpunkt ein Element vorhanden ist, oder nicht. Die notwendigen Einstellungen entsprechen denen für ein Mapping. Es sind auch qualitative Linescans möglich.
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