Nach den Gesetzen der Elektrodynamik strahlt jedes Elektron Energie ab und wird abgebremst. Die damit einhergehende Bremsstrahlung begrenzt die Nachweisempfindlichkeit der Elektronenstrahlmikroanalyse am Rasterelektronenmikroskop. Das Messsignal / Untergrundverhältnis (Signal to Nois), lässt schwache Linien nicht über den Bremsstrahlungsuntergrund erscheinen und begrenzt die relative Nachweisgrenze auf etwa 0,1 % Masseanteil eines Elementes. Die Nachweisgrenzen sind geringfügig abhängig von der mittleren Ordnungszahl des untersuchten Probenvolumens und der Anregungsbedingungen (gewählte Hochspannung des REM).
Durch Erhöhung der Zählrate (höherer Strahlstrom, andere Röntgenlinie), eine Verringerung der Untergrundintensität (günstigere Röntgenlinie, Diskriminierung bei der Impulszählung) oder durch eine Verlängerung der Messzeit kann die Nachweisgrenze verschoben werden. Erst wenn die Energieauflösung (Halbleiterdetektoren mit typisch 140 eV) um eine Größenordnung verbessert werden kann, verringern sich auch die Nachweisgrenzen auf ca. 0.01% (wellenlängendispersives Spektrometer, Mikrokalorimeter).
Abbildung 1: Nachweisgrenze