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Turbomolekularpumpen

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Das Prinzip der Molekularpumpe beruht darauf, dass die einzelnen abzupumpenden Gasteilchen durch Zusammenstöße mit den schnell bewegten Flächen eines Rotors einen Impuls in Förderrichtung erhalten. Jede Stufe einer Turbomolekularpumpe besteht aus einem Schaufelringpaar, d.h. einem Stator und einem Rotor, die auf ihrem Umfang mit Schaufeln bestückt sind. Die gesamte Pumpe besteht aus einer Vielzahl hintereinander geschalteter Stufe. Read more